【事例】真空蒸着装置試験システム
真空蒸着装置試験システムの納入事例をご紹介
真空蒸着の技術開発のため、真空蒸着装置関連のデータのモニタリング用と して使用されており、「ウエーブリサーチャー」と横河電機株式会社の データアクイジションシステム「MXシリーズ」を使用して、温度、真空度、圧力、 ヒーター電圧、電流等のデータを最短100msで計測し、装置の稼動状況と データ解析を行うシステム納入事例をご紹介します。 真空蒸着装置の稼動状態を「MXシリーズ」で計測し、蒸着速度の向上や膜厚 の均一化のための条件について調査しています。 【事例概要】 ・温度、真空度、圧力、ヒーター電圧、電流等のデータを最短100msで計測 ・装置の稼動状況とデータ解析 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社ハビリス
- 価格：応相談
