薄型ウェハー搬送装置『TWH150/200/300』
化合物半導体ウェハーの搬送やオートメーションにも適した移載機
『TWH150/200/300』は、極薄ウェハー対応独立移載機としてカセットから カセット、カセットからポッド、ポッドからカセット、ポッドからポッドへ 全自動詰め替え搬送を可能にします。 分析計やプロセス装置と組み込みモジュールシステムとして薄型ウェハー搬送を 全自動化させることができます。 薄型やシリコンウェハーに限らず非接触搬送が必要とされるMEMS ウェハー、 化合物半導体ウェハーの搬送やオートメーションにも適しています。 【特長】 ■極薄ウェハー対応 ■全自動詰め替え搬送を可能にする ■オートメーションにも好適 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：デリクソンテクノロジージャパン株式会社
- 価格：応相談
