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化合物半導体ウェハーの搬送やオートメーションにも適した移載機
『TWH150/200/300』は、極薄ウェハー対応独立移載機としてカセットから カセット、カセットからポッド、ポッドからカセット、ポッドからポッドへ 全自動詰め替え搬送を可能にします。 分析計やプロセス装置と組み込みモジュールシステムとして薄型ウェハー搬送を 全自動化させることができます。 薄型やシリコンウェハーに限らず非接触搬送が必要とされるMEMS ウェハー、 化合物半導体ウェハーの搬送やオートメーションにも適しています。 【特長】 ■極薄ウェハー対応 ■全自動詰め替え搬送を可能にする ■オートメーションにも好適 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
寸法・精度t40×200×200。アルミ（A5052）を使用した加工をご紹介！
加工種別は板材からの削り出し、加工のポイントは平面度0.05、 平行度0.05となっております。 対応ロット数は、30個/月 5年間。 当社では、自社工場での切削加工と研磨加工の他、協力工場の ネットワークを活用した成形、表面処理なども承っておりますので、 ご用命の際はお気軽にご相談ください。 【製品仕様】 ■材質：アルミ（A5052） ■加工種別：板材からの削り出し ■寸法・精度：t40×200×200 ■産業：産業機械 ■対応ロット数：30個/月 5年間 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
検査装置を問わず装置側にウエハ・ガラス関連製品を自動搬送するシステム
当社では、顕微鏡メーカーを問わず搬送できる『ウエハ搬送装置』を取り扱っております。 自動ステージとの組合せでフルオート搬送が可能。 （検査装置側との通信が必要になります） また、ウエハ以外の搬送も検討いたします。 ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■専用ソフトウエアによるカセット単位での完全自動搬送 ■搬送側での測定ウエハの選択 マニュアル搬送可能 ■ウエハ検出システムにより無駄のないタクトを実現 ■繰り返し性の高い駆動系の高信頼性で搬送可能 ■装置側の様々なステージに搬送を実現 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
