ご希望の測定機、検査機を搭載可能です。
ウエハ受けステージからウエハを取出し、測定ユニットまで自動搬送を行います。 測定終了後は、ウエハを指定されたアンロードカセットに収納可能です。 お客様ご希望の測定機、検査機に対応します。 【特徴】 ■ご希望の測定機、検査機を搭載可能 ■8インチ・12インチウエハに対応 ■測定条件、測定結果を上位転送可能
この製品へのお問い合わせ
基本情報
【参考仕様】 ■ウエハサイズ：8インチ、12インチ ■構成要素 →搬送ユニット →受けステージユニット →ローダ・アンローダユニット →アライメントユニット →IDリーダユニット →測定ユニット（ご希望の測定機、検査機に対応可能） →上位通信機能（オプション）
価格帯
1000万円 ~ 5000万円
納期
用途／実績例
特別仕様に対応致します。お気軽にお問い合わせください。
企業情報
システム開発を中心に半導体検査装置の開発・販売、ソフトウエアの開発等トータル的なシステム開発に力を注いでいます。 当社では、開発技術力を提供出来ることを誇りとしているので、開発費を頂くことなく、低価格で開発品をご提案致します。 当社では、開発案件を頂いたら、まず評価機を作製し、ご提案する独自の開発プロセスで開発を進めていきます。開発初期段階から顧客の要望を取入れ、顧客との連携を一番に考え開発を進めるので、顧客の仕様に合わせた顧客専用のカスタマイズ製品の提供が可能です。