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最終更新日:2010年10月01日

デリクソンテクノロジージャパン株式会社
デリクソンテクノロジージャパン株式会社
  • 公式サイト

K13Xはフィラーフリーである為劣化に伴うパーティクル発生がありません。

通常Oring材質であるポリマー、パーフロロエラストマーは剛性、耐性を得る為にフィラーと呼ばれる補強材が使用されます。K13X新素材ポリマーは素材自体に剛性をを高める分子構造がある為フィラーフリー構造を可能にしました。

    その他半導体製造装置
Perlast.jpg

Perlast K13X

Perlast.jpg
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基本情報

【特徴】 ○新素材フィラーフリー構造 (パーティクルフリー) ○優れたプラズマ耐性、低エッチングレート ○低熱膨張 ○優れた物理特性 (低摩擦、高強度、高弾性) ●詳しくはお問合せください。

価格情報

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デリクソンテクノロジージャパン株式会社

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