K13Xはフィラーフリーである為劣化に伴うパーティクル発生がありません。
通常Oring材質であるポリマー、パーフロロエラストマーは剛性、耐性を得る為にフィラーと呼ばれる補強材が使用されます。K13X新素材ポリマーは素材自体に剛性をを高める分子構造がある為フィラーフリー構造を可能にしました。
通常Oring材質であるポリマー、パーフロロエラストマーは剛性、耐性を得る為にフィラーと呼ばれる補強材が使用されます。K13X新素材ポリマーは素材自体に剛性をを高める分子構造がある為フィラーフリー構造を可能にしました。
【特徴】 ○新素材フィラーフリー構造 (パーティクルフリー) ○優れたプラズマ耐性、低エッチングレート ○低熱膨張 ○優れた物理特性 (低摩擦、高強度、高弾性) ●詳しくはお問合せください。
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デリクソンテクノロジージャパン株式会社では半導体装置、周辺機器の中古売買及び、半導体製造装置周辺機器のロボット、RF電源、マッチングボックス、VATバルブ等の修理サービスを行っております。