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5・6・8インチウェハ対応！2相ステッピングモータを使用の製品をご紹介します
『AA2000シリーズ』は、ウェハセンタリングがポリアセタール樹脂製クランプで ウェハ外周を把持します。 コンパクト、クリーンなボディで清浄度アップ。 RS232C通信制御またはI/O制御です。 また、5・6・8インチウェハに対応しています。 当製品のことでしたら、アテル株式会社に是非ご相談下さい。 【特長】 ■ウェハセンタリング：ポリアセタール樹脂製クランプでウェハ外周を把持 ■ノッチ位置決め スピンドルで吸着、光センサによる位置決め ■コンパクト、クリーンなボディで清浄度アップ ■RS232C通信制御またはI/O制御 ■2相ステッピングモータ使用 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
検査装置を問わず装置側にウエハ・ガラス関連製品を自動搬送するシステム
当社では、顕微鏡メーカーを問わず搬送できる『ウエハ搬送装置』を取り扱っております。 自動ステージとの組合せでフルオート搬送が可能。 （検査装置側との通信が必要になります） また、ウエハ以外の搬送も検討いたします。 ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■専用ソフトウエアによるカセット単位での完全自動搬送 ■搬送側での測定ウエハの選択 マニュアル搬送可能 ■ウエハ検出システムにより無駄のないタクトを実現 ■繰り返し性の高い駆動系の高信頼性で搬送可能 ■装置側の様々なステージに搬送を実現 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
ご希望の測定機、検査機を搭載可能です。
ウエハ受けステージからウエハを取出し、測定ユニットまで自動搬送を行います。 測定終了後は、ウエハを指定されたアンロードカセットに収納可能です。 お客様ご希望の測定機、検査機に対応します。 【特徴】 ■ご希望の測定機、検査機を搭載可能 ■8インチ・12インチウエハに対応 ■測定条件、測定結果を上位転送可能
デリクソンテクノロジージャパン株式会社はメカトロニック・システムテクニック社製 薄型ウェハー搬送装置の販売、サービス代理店です。
メカトロニック社は、オートメーション技術と薄型ウェハー搬送技術を駆使し装置プラットフォーム（筐体）を設計、製作。装置全体の搬送ソリューションを提供致します。
半導体製造工程の効率化と品質向上に貢献。専用部品がないのでメンテナンスしやすく、早期復旧が可能です。低コストを実現しています。
当社で取り扱っているウェハ関連製品で、半導体製造工程を効率的にできます。 ■ウェハトランスファー キャリアに収納された最大25枚のウェハを一括で別キャリアやボートへ高速移載。 オリフラ合わせ機能を内蔵し、異なるウェハ厚（275～600μm）にも柔軟に対応します。 ■ ウェハIDリーダー／ソーター ウェハに印字されたロットナンバーを読み取り、バラバラの順番になったウェハを正確に整列。 昇順・降順の並び替えに加え、不要ウェハの抜き取りや分割・統合など、30種以上の処理パターンに対応。 【特長】 ■専用部品を使わない為、故障時の早期復旧が可能 ■タッチパネル操作で使いやすい ■専用装置と比べて、安価なイニシャルコストで同様の機能を実現 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
