ウエハ搬送装置
検査装置を問わず装置側にウエハ・ガラス関連製品を自動搬送するシステム
当社では、顕微鏡メーカーを問わず搬送できる『ウエハ搬送装置』を取り扱っております。 自動ステージとの組合せでフルオート搬送が可能。 （検査装置側との通信が必要になります） また、ウエハ以外の搬送も検討いたします。 ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■専用ソフトウエアによるカセット単位での完全自動搬送 ■搬送側での測定ウエハの選択 マニュアル搬送可能 ■ウエハ検出システムにより無駄のないタクトを実現 ■繰り返し性の高い駆動系の高信頼性で搬送可能 ■装置側の様々なステージに搬送を実現 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
- 企業：達華産業株式会社
- 価格：応相談
