PILine 高速・薄型回転ステージ『U-651』
内蔵のインクリメンタルエンコーダーは最大4μ radの分解能！精密な位置コントロールを行います
『U-651』は、精密回転ステージにPILine超音波ピエゾモーターを 採用しており、このモーターがセラミック製摩擦リングに作用して プラットフォームを駆動させるPILine 高速・薄型回転ステージです。 直接駆動方式により、ステージの小型化と薄型が可能になりました。 内蔵のインクリメンタルエンコーダーは、最大4μ radの分解能で、 精密な位置コントロールを行います。 【特長】 ■薄型でわずか14mmの高さ ■分解能が最大4μ radのダイレクト位置測定 ■最高速度540°/秒 ■両方向の回転で最大0.3Nmのトルク ■開口部の直径は36mm ■真空対応タイプ（10-6pha）オプションであり ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：ピーアイ・ジャパン株式会社
- 価格：応相談
