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単品試作から用途に合わせて製作可能！「EBガン」や「Kセル」などをラインアップ！
当社の取り扱う『薄膜作成コンポーネント』をご紹介します。 世界最小クラスのUHV対応「マグネトロンスパッタカソード」をはじめ、 ICF70よりマウント可能な「EBガン」やルツボ最小2cc～100cc対応の 「Kセル」などをラインアップ。 また、有機・金属材料対応の「マルチ抵抗加熱ソース」や「コニカル型 蒸着ソース」などもご用意しております。 【ラインアップ】 ■マグネトロンスパッタカソード ■EBガン ■Kセル ■マルチ抵抗加熱ソース ■コニカル型蒸着ソース ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
薄膜作成コンポーネント
オーダーメイド品を製造・販売している ケニックス社の『薄膜作成コンポーネント』のご案内です。 ■□■ラインナップ■□■ ■単品試作から用途に合わせて製作！スパッタカソード ・ヘッド直接ガス導入、水冷式構造 ・φ1インチターゲット対応 ・マッチングボックス内蔵の専用RF電源付き ・UHVにも対応 ・お手持ちの真空チャンバーに容易に搭載可能 ■ICF70よりマウント可能なEBガン ・3kWシングル、3連式をラインナップ ・2cｃルツボを備えた小型電子銃（最小） ・水冷式接続ポート等、設計製作します ・水冷式UHV対応構造 ・豊富なハース材料 ■ルツボ最小2cc〜100cc対応Kセル ・ICF70よりマウント対応 ・シャッター機構オプション ・制御電源付き ■有機・金属材料対応のマルチ抵抗加熱ソース ・任意のフランジに搭載設計します ・水冷式 フレクタオプション ・シャッター機構付き ■詳細は、お問い合わせ下さい。
