単品試作から用途に合わせて製作可能！「EBガン」や「Kセル」などをラインアップ！
当社の取り扱う『薄膜作成コンポーネント』をご紹介します。 世界最小クラスのUHV対応「マグネトロンスパッタカソード」をはじめ、 ICF70よりマウント可能な「EBガン」やルツボ最小2cc～100cc対応の 「Kセル」などをラインアップ。 また、有機・金属材料対応の「マルチ抵抗加熱ソース」や「コニカル型 蒸着ソース」などもご用意しております。 【ラインアップ】 ■マグネトロンスパッタカソード ■EBガン ■Kセル ■マルチ抵抗加熱ソース ■コニカル型蒸着ソース ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【マグネトロンスパッタカソード 特長】 ■ヘッド直接ガス導入・水冷式構造 ■φ1インチターゲット対応 ■マッチングボックス内蔵の専用RF電源付き ■UHVに対応し、マグネット交換が可能 ■お手持ちの真空チャンバーに容易に搭載可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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