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最終更新日:2009年07月13日

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オーダーメイド品を製造・販売している ケニックス社の『薄膜作成コンポーネント』のご案内です。 ■□■ラインナップ■□■ ■単品試作から用途に合わせて製作!スパッタカソード ・ヘッド直接ガス導入、水冷式構造 ・φ1インチターゲット対応 ・マッチングボックス内蔵の専用RF電源付き ・UHVにも対応 ・お手持ちの真空チャンバーに容易に搭載可能 ■ICF70よりマウント可能なEBガン ・3kWシングル、3連式をラインナップ ・2ccルツボを備えた小型電子銃(最小) ・水冷式接続ポート等、設計製作します ・水冷式UHV対応構造 ・豊富なハース材料 ■ルツボ最小2cc〜100cc対応Kセル ・ICF70よりマウント対応 ・シャッター機構オプション ・制御電源付き ■有機・金属材料対応のマルチ抵抗加熱ソース ・任意のフランジに搭載設計します ・水冷式 フレクタオプション ・シャッター機構付き ■詳細は、お問い合わせ下さい。

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