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薬液流量センサ(回転) - 企業1社の製品一覧

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マクミラン 薬液用流量センサ Model 106シリーズ

15mL~10L/minまで精度良く計測出来る流量センサです。 PTFE製で耐薬液に優れパーティクルの発生がありません。

モデル106は低粘度の液体を15mL/minの低流量から10L/minの大きな流量まで測定できるセンサです。 ベルトン型のマイクロタービンホイール(特許)を採用し優れた再現性で長期にわたる正確な計測が可能となります。ウルトラクリーン用途に適応したデザインになっておりパーティクル発生がありません。 標準の接続はPFAタイプのチューブ継手を採用しています。センサ電源、出力タイプ、継手のサイズ、ケーブルの長さは各種の用途に合わせて選択できます。オプションでフレアー継手も用意できます。

  • その他半導体製造装置
  • 分析機器・装置
  • 飲料製造装置

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