１５ｍＬ～１０Ｌ/ｍｉｎまで精度良く計測出来る流量センサです。 ＰＴＦＥ製で耐薬液に優れパーティクルの発生がありません。
モデル１０６は低粘度の液体を１５ｍＬ／ｍｉｎの低流量から１０Ｌ／ｍｉｎの大きな流量まで測定できるセンサです。 ベルトン型のマイクロタービンホイール（特許）を採用し優れた再現性で長期にわたる正確な計測が可能となります。ウルトラクリーン用途に適応したデザインになっておりパーティクル発生がありません。 標準の接続はＰＦＡタイプのチューブ継手を採用しています。センサ電源、出力タイプ、継手のサイズ、ケーブルの長さは各種の用途に合わせて選択できます。オプションでフレアー継手も用意できます。
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基本情報
モデル１０６は低粘度の液体を１５ｍＬ／ｍｉｎの低流量から１０Ｌ／ｍｉｎの大きな流量まで測定できるセンサです。 ベルトン型のマイクロタービンホイール（特許）を採用し優れた再現性で長期にわたる正確な計測が可能です。このウルトラクリーンデザインのホイールはサファイヤのシャフトとベアリングで構成され支えられています。液体の計測回転時には、軽量なので液体に浮遊した状態で回転します。この浮遊効果によりシャフトとベアリングの磨耗が無くなり、パーティクルの発生がありません。 本体はＰＴＦＥを採用し、標準の接続はＰＦＡタイプのチューブ継手を採用しています。センサ電源、出力信号、継手のサイズ、ケーブルの長さは各種の用途に合わせて選択できます。オプションでフレアー継手も用意できます。
価格情報
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納期
用途／実績例
接液部材質 テフロン カルレッツ サファイヤに適合する液体。 ○フッ酸やその他、酸ラインの測定 ○ＣＭＰスラリーラインの測定 ○純水の測定 ○現像液の測定 ○ほとんど全ての低粘度液体の測定 など
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この製品に関するニュース（1）
企業情報
エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社は、産業界での計測・制御の分野でもっとも重要な圧力と流量をテーマに優れた計測/制御機器を扱っております。 圧力計測においては、米国セトラ社の日本代理店として、長年にわたり数多くの圧力センサを国内に供給しております。セトラ社の圧力センサは高精度・高感度を特徴としており、半導体製造装置をはじめ、多くの先端技術に採用されています。又、あらゆる産業の圧力測定場面で対応出来るように他にもＢＤ社やHoneywell社などの製品も扱っています。 これらの圧力センサを内蔵、もしくは外付けしたデジタル圧力計の製造もおこなっています。 社内には、国家標準にトレーサビリティーを持つ各種の圧力基準器が厳密に空調された校正検査室に設置されていますので、検査/再校正を社内にて行うことができます。 流量に関しては、液体/気体（マスフロー）どちらもユニークで高付加価値な製品を取り扱っています。 液体用は小型で安価、高精度なタービン式を中心にコリオリ式流量計もございます。 製薬・医薬製造向けのディスポーサブルセンサ、食品・飲料向けの規格取得のセンサなど、多様なニーズにお応えします。
