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薬液流量センサ(薬液) - 企業1社の製品一覧

製品一覧

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テクフロウ社 薬液用流量センサ IR?OPFLOW

PVDF製薬液用精密流量センサIR?OPFLOWは、6種類の流量サイズで0.1から120L/minまでのレンジをカバーします。

薬液用精密流量センサIR?OPFLOWは、6種類の流量サイズで0.1から120L/minまでのレンジをカバーします。 接液部は独特の設計により全てPVDFで作られ低摩擦、長寿命を実現しています。出力信号は光電気信号をピックアップしプリアンプで矩形は整形され出力ピックされます。 ターンダウン非は30対1で広く、センサ上流部に整流部が不用で取付姿勢に影響されません。 使用温度範囲は?40から85℃と広く計測精度は1%と3%の2種類が用意されています。使用圧力範囲は80℃までは定格1000kPaまで使用可能です。

  • 飲料製造装置
  • 流量制御
  • 水質検査

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マクミラン 超高純度用 薬液流量センサ U707/U708

薬液流量センサU707/708シリーズは低粘度の液体を7mL/minの小さな流量から10L/minの大きな流量まで用意しています

U707/708シリーズは低粘度の液体を7mL/minの小さな流量から?10L/minの大きな流量まで測定できるセンサです。ベルトン型のマイクロタービンホイール(特許)を採用し優れた再現性で長期にわたる正確な計測が可能となります。ウルトラクリーン用途に適応したデザインになっておりパーティクル発生がありません。接続はフレアー継手を採用し流体がネジ部に入り込まないよう考慮されています。電気ケーブル長、電源や出力をいくつかのオプションから選択できるので、各種用途に利用しやすくなっています。

  • ウエハ加工/研磨装置
  • 流量制御
  • センサ

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マクミラン 薬液用流量センサ Model 106シリーズ

15mL~10L/minまで精度良く計測出来る流量センサです。 PTFE製で耐薬液に優れパーティクルの発生がありません。

モデル106は低粘度の液体を15mL/minの低流量から10L/minの大きな流量まで測定できるセンサです。 ベルトン型のマイクロタービンホイール(特許)を採用し優れた再現性で長期にわたる正確な計測が可能となります。ウルトラクリーン用途に適応したデザインになっておりパーティクル発生がありません。 標準の接続はPFAタイプのチューブ継手を採用しています。センサ電源、出力タイプ、継手のサイズ、ケーブルの長さは各種の用途に合わせて選択できます。オプションでフレアー継手も用意できます。

  • その他半導体製造装置
  • 分析機器・装置
  • 飲料製造装置

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マクミラン 超高純度用 薬液流量センサ Model U709

モデルU709は腐食性の液体を7mL/minの低流量から1000mL/minまでの、間欠運転、連続運転を精度良く計測出来ます。

モデルU709シリーズは、腐食性の液体を7mL/minの低流量から?1000mL/minの流量まで5種類の測定レンジによりにカバーする流量センサです。 間欠運転または、連続運転の液体を精度良く測定できる流量センサです。ポンプ吐出時間500msec、吐出量1mLからの液体を検出できます。 接液部の材質はテフロン、カルレッツ、サファイアで構成されています。センサ部は、ペルトン型のマイクロタービンホイール(特許)を採用することにより、ウルトラクリーン用途に適応したデザインになっています。パーティクル発生がなく、優れた再現性を実現し、腐食性のある化学薬品や溶剤の長期に渡る正確な計測が可能となります。圧力接続はフレアータイプの継手を採用し簡単に接続でき、流体がネジ部に入り込まないよう考慮されています。電気接続には1.8mのケーブルが付属しています。電源や出力はいくつかのオプションから選択できるので、各種の使用用途に合わせて利用できます。

  • その他半導体製造装置
  • センサ

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