光学式三次元表面プロファイラー『smartWLIシリーズ』
垂直走査低コヒーレンス干渉法により、高精度なオンマシン計測・インライン評価を実現！
『smartWLIシリーズ』は、GBS社が製品化した垂直走査低コヒーレンス 干渉法(CSI)を用いた三次元表面プロファイラー（白色干渉計、光学式三次元表面形状・粗さ計）です。 光学式三次元表面プロファイラーは、レンズ金型などの精密加工部品、自動車部品、電子部品、機能材料などの製造工程や品質検査において、表面の凹凸、傷、節目などの表面性状を非接触で測定を行えます。 三次元表面性状測定の国際規格ISO25178-6（国内規格JIS B0681-6）である垂直走査低コヒーレンス干渉法（CSI）は、観察視野（干渉対物レンズの倍率）に依存しない高い垂直（凹凸）感度が特長です。 『smartWLIシリーズ』には、製造現場でのインライン検査、大型の対象物を計測するオンマシン計測、エンジンシリンダーの内壁計測に求められる計測器があります。 また、解析ソフトとして業界標準のMountainsMap(R)を採用しております。
- 企業：キヤノンマーケティングジャパン株式会社
- 価格：応相談
