【研磨パッド(PAD)】表面仕上げ用研磨パッド
基板の欠陥数低減の実現が可能！「表面欠陥数」の低減が確実に図れます
当製品は、株式会社FILWEL(旧カネボウ)製のファイナルポリッシング用 研磨パッドです。 微粒の酸化セリウム研磨材やコロイダルシリカとの組み合わせにより、 欠陥数の少ない高品質表面が得られます。 現在、シリーズ製品としては全部で4品種があり、「Asker-C硬度」は 「53」レベルへ。マスクの世界ではNGの「表面欠陥数」の低減が 確実に図れる製品です。 【ラインアップ】 ■N7512 ■N0012 ■N0092 ■N0192 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：八千代マイクロサイエンス 株式会社
- 価格：応相談
