装置用PFAコーティング - メーカー・企業と業務用製品 | イプロスものづくり

半導体製造装置向けPFAコーティング

高純度・低パーティクル性に優れた表面処理 PFAコーティング

半導体製造分野では、薬品耐性だけでなく低パーティクル性や非汚染性、高純度といった厳しい要求が求められます。PFAコーティングは耐薬品性と耐熱性に優れるだけでなく、緻密で欠陥の少ない塗膜を形成できるため、薬液やガスの浸透を抑制し、パーティクル発生やイオン溶出のリスク低減に寄与します。こうした特性により、半導体製造装置や関連部品の表面処理として広く活用されています。高信頼性が求められる環境においても安定した性能を発揮できる点が特長です。 用途や使用条件に応じた最適仕様の提案や評価試験にも対応可能ですので、技術相談・試作検証については当社までお気軽にお問い合わせください。