半導体製造装置用高機能メタルシール『HELICOFLEX』
エラストマーシールから置換！当社のメタルシールをご紹介
『HELICOFLEX』は、半導体製造装置用の高機能メタルシールです。 超高真空(UHV)、超高純度(UHP)、エッチング、CVDなどに幅広く対応。 エラストマーOリングからのコンパチ。 ご用命の際は当社へお気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■超高真空(UHV)、正圧用途 ■高い耐熱性 ■耐薬品性・耐腐食性 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
- 企業：テクネティクス・グループ・ジャパン株式会社
- 価格：応相談
