半導体製造装置用高機能メタルシール『HELICOFLEX』

デルタシール(HNV HELICOFLEX(R)DELTA) には、断面の接触側に2つのデルタ形突起があります。 デルタ形突起は、フランジ溝組込時に外被の圧縮時につぶれて消えるように設計されており、 デルタシールの設計締付圧力は、ヘリコフレックスシールに比べて低い為、エラストマー製Oリングとの交換が可能になります。 漏れ量：*円形の場合10⁻¹²Pa・m³/sec.(10⁻¹¹atm.cm³/sec.) 　　　　*取付側の品質に依存します。 【特長】 ■断面の接触側に2つのデルタ形突起がある ■超高真空が実現する ■優れた弾性を有し、高温で使用可能 ■エラストマー製Oリングとの交換が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

デルタベータHNRVは元々設計締付圧力(Y)が低いデルタシールと内部ばねの特殊加工の組合せで、ゴムO-RINGからの置換と性能向上を実現します。 「真空のゴムO-RINGガス透過やガス放出を無くしたい」「既設フランジのボルト数やサイズ変更が出来ない」等、そんな悩みをお持ちの方に奨めるメタルシールです。 【特長】 ■主に超高真空用 ■従来より更に低い設計締付圧力 ■エラストマー製Oリングとの交換が可能 ■断面の接触側に2つのデルタ形突起がある 既設のフランジに対して使用出来ることを保証するものではありません。 既設フランジ仕様のご提供が必要です。 ※詳しくはPDFダウンロードまたはお気軽にお問い合わせください。

『インフレータブルシール』は、空気圧等で膨張・収縮する製品です。 頻繁にシールが必要な箇所へ好適構造で安全。 自社製エラストマーで断面形状や材質も豊富にご用意しております。 高い設計自由度のため、様々な断面形状で小型、大型いずれも製作可能です。 詳細は、下記関連製品、関連カタログをご覧ください。

『HELICOFLEXヘリコフレックスシール』は、フランス原子力庁(CEA)と共同で開発された、弾性を持つばね入りCリング・メタルシールです。 本製品の驚くべきパフォーマンスは、原子力、航空宇宙、高真空分野、石油精製/化学、ガスやその他一般産業等の市場において長年の研究開発、 実験や実用における結果です。 柔軟な設計対応で、お客様のご用途に沿うシール特性にカスタマイズした製品を提供します。 【特長】 ■シール径φ4～8000mm ■10^-10mbarから3000barまでの圧力に対応 ■-272℃から800℃までの温度に対応 ■発泡液レベルから超高真空レベルも対応する許容漏れ量 ■すべてのフランジ規格とフランジ面に対応(PNEUROP、ASME、ISO、JIS等) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。