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研究開発用途から量産前工程まで、幅広いプロセスに対応可能な汎用モデル
「TV-150/TV-200/TV-300」 は、真空環境下でウェーハをダイシングテープに貼り付ける標準タイプの真空マウンターです。貼付工程を真空チャンバー内で行うことで、大気中貼付で問題となりやすい気泡の残留を抑制し、ウェーハ全面にわたって均一で再現性の高い貼付品質を実現します。 コンパクトで幅広いプロセスに対応可能な汎用モデルとなっています。 TV-150：150mm（6インチ） TV-200：200mm（8インチ） TV-300：300mm（12インチ）
TAIKO(R)ウェーハや薄ウェーハ対応モデル
「TV-200T」は、TAIKO(R)ウェーハや薄ウェーハなど、外周部に段差や特殊形状を有するウェーハに対応した真空マウンターです。上部メンブレンを用いた貼付方式を採用することで、ウェーハ中心部から外周方向へ均一にテープを貼り付ける「ラジアル貼付」を実現します。これにより、TAIKO(R)ウェーハ特有の外周部への応力集中や貼付ムラを抑制し、安定したマウンティング品質を提供します。 【対応ウェーハサイズ】 TV-200T：200mm（8インチ） ※TAIKO(R)は株式会社ディスコの日本及びその他の国における登録商標です。
温度条件が貼付品質に影響する工程や、工程ばらつきを抑えたい用途に適したモデル
「TV-200H/TV-300H」は、真空貼付方式に加熱機能を組み合わせた加熱真空マウンターです。貼付ステージを加熱することで、粘着テープの特性を安定させ、真空貼付との相乗効果により、より均一で再現性の高いマウンティング品質を実現します。 温度条件が貼付品質に影響する工程や、工程ばらつきを抑えたい用途に適したモデルとなっています。 【対応ウェーハサイズ】 TV-200H：200mm（8インチ） TV-300H：300mm（12インチ）
TAIKO(R)ウェーハ対応のメンブレン貼付方式と加熱機能を組み合わせたモデル
「TV-200TH」は、TAIKO(R)ウェーハ対応のメンブレン貼付方式と加熱機能を組み合わせた真空マウンターです。 真空環境下でのラジアル貼付により、TAIKO(R)ウェーハ特有の外周段差や薄肉部に対する応力集中を抑制し、さらに加熱チャックによって粘着テープの特性を安定化させることで、高い貼付均一性と再現性を両立します。 薄ウェーハ・高付加価値デバイスなど、プロセス難易度の高い工程向けの最上位モデルです。 【対応ウェーハサイズ】 TV-200TH：200mm（8インチ） ※TAIKO(R)は株式会社ディスコの日本及びその他の国における登録商標です。
