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フィルム貼付装置|真空マウンター TV-200H / 300H

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TV-200H / TV-300H

最終更新日:2026年03月17日

株式会社テクノビジョン 本社
株式会社テクノビジョン 本社
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温度条件が貼付品質に影響する工程や、工程ばらつきを抑えたい用途に適したモデル

「TV-200H/TV-300H」は、真空貼付方式に加熱機能を組み合わせた加熱真空マウンターです。貼付ステージを加熱することで、粘着テープの特性を安定させ、真空貼付との相乗効果により、より均一で再現性の高いマウンティング品質を実現します。 温度条件が貼付品質に影響する工程や、工程ばらつきを抑えたい用途に適したモデルとなっています。 【対応ウェーハサイズ】 TV-200H:200mm(8インチ) TV-300H:300mm(12インチ)

    ウエハ加工/研磨装置その他半導体製造装置マウンター
TV200H_300H.jpg

フィルム貼付装置|真空マウンター TV-200H / 300H

TV200H_300H.jpg
TV200H_300H.jpg TV-200H-2.jpg TV200H.3.jpg
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基本情報

■主な特長 加熱チャック搭載 貼付ステージを加熱することで、粘着剤の流動性を制御し、貼付品質を安定化。 真空+温度のプロセス管理 真空圧・温度・時間を数値管理し、再現性の高い工程を実現。 貼付ムラ・気泡の抑制 真空環境下での加熱貼付により、気泡混入や貼付ムラを低減。 幅広いテープに対応 加熱を必要とする各種ダイシングテープ、保護テープに対応。 ■主な仕様 モデル   【TV-200H】 【TV-300H】 フレームサイズ: DTF2-8-1    DTF2-12 最高温度: ~100°C 装置寸法385mm(W)×600mm(D)×815mm(H)470mm(W)×750mm(D)×893mm 重量 40.4kg 43kg 必要到達真空(絶対圧):0.2 kPa 推奨排気速度:約320 L/min(19 m³/h) 必要エア圧:0.4~0.6 MPa 入力電源 <装置本体>AC100V 50/60Hz X 1, <温調器>AC110V 50/60Hz X 2

価格帯

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用途/実績例

【加熱+真空貼付け】温度条件が貼付品質に影響する工程や、工程ばらつきを抑えたい用途に適したモデル

ラインアップ(4)

型番 概要
TV-150 / TV-200 / TV-300 標準モデル
TV-200H / TH-300H 加熱モデル
TV-200T TAIKO(R) ウェーハ対応モデル
TV-200TH TAIKO(R) ウェーハ・加熱対応モデル

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真空マウンター「高性能ダイシング周辺機器」

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ウェハー/フィルム貼付け装置|ウェハーマウンター

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この製品に関するニュース(2)

真空マウンター「高性能ダイシング周辺機器」4タイプ、7モデルの販売を開始しました。

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新製品「真空マウンター」シリーズ製品情報を公開しました。 研究開発用途から量産前工程まで、幅広いプロセスに対応可能な汎用モデルから TAIKO(R)用、薄ウェーハ・高付加価値デバイスなど、プロセス難易度の高い工程向けの最上位モデルまで “4つのシリーズ、合計7モデルをラインナップしております。 ■真空貼付け(TV-150/TV-200/TV-300) ■加熱+真空貼付け(TV-200H/TV-300H) ■TAIKO(R)用+真空貼付け(TV-200T) ■TAIKO(R)用+加熱+真空貼付け(TV-200TH) ※TAIKO(R)は株式会社ディスコの日本及びその他の国における登録商標です。 詳しい製品情報は、各製品詳細ページをご覧ください。

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真空マウンター「高性能ダイシング周辺機器」カタログを掲載しました。

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新製品「真空マウンター」シリーズカタログを公開しました。 研究開発用途から量産前工程まで、幅広いプロセスに対応可能な汎用モデルから TAIKO(R)用、薄ウェーハ・高付加価値デバイスなど、プロセス難易度の高い工程向けの最上位モデルまで “4つのシリーズ、合計7モデルをラインナップしております。 ■真空貼付け(TV-150/TV-200/TV-300) ■加熱+真空貼付け(TV-200H/TV-300H) ■TAIKO(R)用+真空貼付け(TV-200T) ■TAIKO(R)用+加熱+真空貼付け(TV-200TH) ※TAIKO(R)は株式会社ディスコの日本及びその他の国における登録商標です。

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株式会社テクノビジョンは、1987年9月創業以来、洗浄技術、組立技術をコアーに自社製品の開発、製造、輸出入業務に取り組んでおります。 今日のハイテク産業の中でお客様のニーズにお応えし、お客様の立場に立った視野で技術、製品、及びサービスの提供を目指していく所存でございます。

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