装置 自律型ナノ製造装置
知的クラスター創成事業の一環として、名古屋大学と名古屋工業大学と共に共同開発
このプロジェクトは、「ナノテクものづくりクラスター」の形成に向けた研究プロジェクトです。プロジェクトの目的としては、名古屋大学が独自に開発した反応空間内の原子・分子濃度を測定するプラズマ診断技術をもとに計測用スマートセンサー、ナノパターニング技術について研究開発を行い、常に最適条件でのナノオーダーの超微細加工が自動的に行える「自律型ナノ製造装置」を開発することになります。
- 企業：株式会社片桐エンジニアリング
- 価格：応相談
