知的クラスター創成事業の一環として、名古屋大学と名古屋工業大学と共に共同開発
このプロジェクトは、「ナノテクものづくりクラスター」の形成に向けた研究プロジェクトです。プロジェクトの目的としては、名古屋大学が独自に開発した反応空間内の原子・分子濃度を測定するプラズマ診断技術をもとに計測用スマートセンサー、ナノパターニング技術について研究開発を行い、常に最適条件でのナノオーダーの超微細加工が自動的に行える「自律型ナノ製造装置」を開発することになります。
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基本情報
【特徴】 ○ナノレベルでの高精度微細加工や様々な基板上に機能性薄膜を室温近傍という低音で形成 ○ラジカルの種類と密度をセンシングする超小型スマートセンサー（ラジカルモニタリングセンサー）、その情報をフィードバックする制御システムを搭載 ○装置が自動的にプロセスを制御する次世代の製造装置 ●詳しくはお問い合わせください。
価格帯
納期
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用途／実績例
エレクトロニクス産業、機械加工産業、自動車産業、医療・バイオ産業、化学工業の幅広い産業分野 ●詳しくはお問い合わせください。
企業情報
KKEは平成三年創立以来、今日まで皆様方の御厚い御支援、御協力を賜り厚く御礼を申し上げます。創立以前は私自身が技術業務に専念しておりました。その当時の学んだ事を糧にKKEは皆様と共に育って参りました。特に規格商品を持たず真空技術分野の「開発、設計、製造」を中心に手掛け、時には「産、官、学」共に御協力させて戴き大変喜ばしい事と存じます。お客様個別の仕様内容に応じ「開発、設計、製造」に最後まで取り組む姿勢を持って御客様のニーズに対し適確な判断の下で今日まで進んで参りました。21世紀の最先端科学技術に対応できる技術、開発指向型の企業を目指し「物創り」で社会に貢献することによって皆様方と共に幸福となるように努力致します。今後ともKKEを宜しくお願い致します。
