ツール『VA プロセスマスター』
新しいレシピへの調整時間の短縮！ツールは製膜システムの生産性向上に貢献
『VA プロセスマスター』は、自動化されたプロセス設定、そしてすべての 薄膜システムを制御するためのツールです。 プロセス制御において新手法を採るこのツールは、オペレーターの関与無しに 優れた結果をもたらします。 また、スパッタリングプロセスの完全自動ドリフト補正を可能にし、製品品質を 向上。さらに、このツールは当社のお客様が魅力的な製品のために複雑な レシピを作成することを可能にします。 【特長】 ■インライン測定の解析 ・薄膜膜厚の平均値と均一性の値 ■クローズループ制御 ・プロセス電源出力 ・反応性ガス供給 ・マグネットバー（シム設定） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：フォンアルデンヌジャパン株式会社
- 価格：応相談
