半導体製造用クリーンルーム
高精度環境を省エネルギー・省コストと両立させ超短工期で構築します！
「半導体製造用クリーンルーム」は、超微細精密加工を高い歩留で 実現するために、温度・湿度・清浄度(ガス状汚染質除去)・気流・ 微振動を高精度かつ安定的に制御することが必要です。 豊富な施工実績に基づき、設備システム・容量の最適化、製造ライン・ 生産付帯設備に踏み込んだ提案、脱ガス配慮設計技術、垂直立上げを実現する 施工管理手法などを駆使し、超短工期で高品質なクリーンルームを構築。 また、旋回流誘引型成層空調システム「SWIT（スウィット）」を用いた クリーンルーム「TCR-SWIT」では、少ない風量で作業域を従来と同じ 清浄度に維持できるため、クリーンルームの省エネルギー化も実現できます。 ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：高砂熱学工業株式会社
- 価格：応相談
