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複合分子ポンプ(装置) - メーカー・企業と製品の一覧

複合分子ポンプの製品一覧

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極低振動 磁気軸受形複合分子ポンプ TG-MLシリーズ

ポンプの振動値を1nm以下に抑えた低振動ポンプ。防振ダンパーを装着すると更に1桁低減(0.1nm)!

高性能な電子顕微鏡、微細描画装置、分析装置に最適です。

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姿勢自在形 複合分子ポンプ(TG-Fシリーズ)

低~超高真空まで広領域の排気に対応した取付姿勢自在なグリス潤滑軸受型ターボ分子ポンプ

○取付姿勢自由自在 取付姿勢が360度自由自在なので、装置設計の自由度が拡大! ○優れた耐久性 独自の軸受構造の採用により、大気突入による急な圧力上昇に強い! ○急速ベント停止 ベントポートを利用して、エアーブレーキの要領でポンプを急停止させることができます。 ※一部対応外の機種があります。 ○メンテナンスフリー 日々のメンテナンスの必要がありません。 定期的なオーバーホールで、より長くお使いいただけます。

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