質量流量コントローラ(制御) - 企業1社の製品一覧

層流差圧式質量流量コントローラ　AFC/AFMシリーズ

流量素子の適切な選定により、微少流量から大流量まで対応可能

層流差圧式質量流量コントローラ　AFC/AFMシリーズは、ガスが小型層流素子を流れるときに発生するガスの圧力差を測定し、温度・圧力補正を行い、質量流量を計測制御します。小型層流素子の採用により、小型化が実現しました。流量素子の適切な選定により、微少流量から大流量まで対応可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

• 企業：株式会社エー・シー・イー
• 価格：応相談

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