流量素子の適切な選定により、微少流量から大流量まで対応可能
層流差圧式質量流量コントローラ AFC/AFMシリーズは、ガスが小型層流素子を流れるときに発生するガスの圧力差を測定し、温度・圧力補正を行い、質量流量を計測制御します。小型層流素子の採用により、小型化が実現しました。流量素子の適切な選定により、微少流量から大流量まで対応可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
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基本情報
【特徴】 ○微少流量から大容量まで計測可能 ○素子の選定により10nccmから50NLMまで対応可能 ○全流方式での流量計測・制御 ○流入するガスの一時的な水分混入や凝縮に強い ○高速実流量応答制御実現 ○ガス系の温度・圧力情報も出力 ○ガス供給系の診断に最適 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
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企業情報
当社は平成１１年３月株式会社エー・シー・イーとして設立・創業しました。 株式会社エー・シー・イーは、 Advanced Components and Equipmentのイニシャルを社名とし、流体計測・制御技術及びモニタリング技術をベースに、コンポーネント開発とその応用機器の提供を行っていくことを主要業務として事業を開始しました。 その後、ガス分析機器、ガス混合装置、表面処理技術等の開発により、半導体・液晶分野、燃料電池分野、環境分析分野及び一般工業分野等、様々な分野で当社の製品・システムが活躍しております。当社は「創造と挑戦」をモットーに、なおいっそうの努力と技術の向上をはかり、お客様のご期待に添いますように努力してまいります。