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質量流量制御装置 - メーカー・企業と製品の一覧

質量流量制御装置の製品一覧

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高差圧、大流量もビュルケルトのMFCにお任せください!

ビュルケルトのMFCで大差圧(2.2MPa)、大流量(2500lN/min)も対応可能。エアーやその他様々なガスに対応!

70余年、電磁弁・調量弁を扱う老舗流体制御機器メーカーとして培ってきた技術・実績をベースに大差圧・大流量でも気体の質量流量制御をMFCで実現いたします。 【1台で何役もこなし、トータルコスト削減!】 ●大差圧(2.2MPa)に対応することで、従来必要だった減圧弁やレギュレータが不要になります。 ●大流量(2500lN/min (N2))に対応するとこで、複数のMFCを一台に集約することができます。 ●小流量から大流量まで(例えば50~2500lN/min(N2))を一台で制御可能 ●アンモニア対応機種もラインナップ ●インライン式センサ搭載により低差圧でもスムーズな制御を実現 ●樹脂シールとシャットオフ機能により完全な締め切りを実現 【簡単導入&直ぐにご使用可能です!】 ●校正済みで出荷されるため、設定不要&調整不要で直ぐに使用可能 ●専用電源は不要(DC24Vにて起動)で簡単導入 【ビュルケルトならでは&IoT世代】 ●OpenCAN、フィールドバス、RS485等の通信方式に対応 ●メンテナンス性や省スペース性にも特化したご提案も可能です!

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ACE 流体制御機器 製品ダイジェスト

流量制御器の決定版。実流量の応答速度が速く、ガス圧力変動に強い

差圧式・全流式流量制御器の決定版。実流量の応答速度が速く、ガス圧力変動に強い。差圧式質量流量制御器AFC/AFMシリーズは小型層流素子を流れるときに生じる、ガスの圧力差を測定し、温度、圧力補正を行い、質量流量を計測制御します。大流量差圧式質量流量制御器DPFC-250/DPFMでは、乱流で生じる圧力差を測定し、温度・圧力補正を行い質量流量にします。他にも、大流量(1000NLM以上)差圧式質量流量制御器DPFC-500/DPFM、自動圧力コントローラAP-200シリーズ、自動背圧コントローラなど、様々な製品を取り揃えております。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

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