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独自のセンサー技術で多様な開発や量産に対応！温度制御や質量流量制御を支える高温用MFC
当製品は、独自のセンサー技術に基づいて多様な前駆体別開発や量産対応を可能にする高温用MFCです。 コントロール部（Room Temperature）とベースユニット（High Temperature）で構成される特長的な構造を採用し、～170℃までの高温用制御に対応。さらに、200℃対応品も開発を進めています。 国産技術による製品ポートフォリオ構築の一翼を担い、質量流量制御、高温制御、混合ガス制御などのマスフロートータルソリューションを提供します。また、開発・品質管理システムの構築運営を行うPLMシステムを運営しております。 【特長】 ■独自のセンサー技術に基づき製作 ■～170℃の高温に対応（200℃対応品も開発中） ■コントロール部とベースユニットによる構成 ■多様な前駆体別開発や量産対応が可能 ■質量流量制御、高温制御、混合ガス制御を提供 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
ビュルケルトのMFCで大差圧(2.2MPa)、大流量(2500lN/min)も対応可能。エアーやその他様々なガスに対応！
70余年、電磁弁・調量弁を扱う老舗流体制御機器メーカーとして培ってきた技術・実績をベースに大差圧・大流量でも気体の質量流量制御をMFCで実現いたします。 【1台で何役もこなし、トータルコスト削減！】 ●大差圧（2.2MPa）に対応することで、従来必要だった減圧弁やレギュレータが不要になります。 ●大流量（2500lN/min (N2)）に対応するとこで、複数のMFCを一台に集約することができます。 ●小流量から大流量まで（例えば50～2500lN/min(N2)）を一台で制御可能 ●アンモニア対応機種もラインナップ ●インライン式センサ搭載により低差圧でもスムーズな制御を実現 ●樹脂シールとシャットオフ機能により完全な締め切りを実現 【簡単導入＆直ぐにご使用可能です！】 ●校正済みで出荷されるため、設定不要＆調整不要で直ぐに使用可能 ●専用電源は不要（DC24Vにて起動）で簡単導入 【ビュルケルトならでは＆IoT世代】 ●OpenCAN、フィールドバス、RS485等の通信方式に対応 ●メンテナンス性や省スペース性にも特化したご提案も可能です！
流量制御器の決定版。実流量の応答速度が速く、ガス圧力変動に強い
差圧式・全流式流量制御器の決定版。実流量の応答速度が速く、ガス圧力変動に強い。差圧式質量流量制御器AFC/AFMシリーズは小型層流素子を流れるときに生じる、ガスの圧力差を測定し、温度、圧力補正を行い、質量流量を計測制御します。大流量差圧式質量流量制御器DPFC-250/DPFMでは、乱流で生じる圧力差を測定し、温度・圧力補正を行い質量流量にします。他にも、大流量（1000NLM以上）差圧式質量流量制御器DPFC-500/DPFM、自動圧力コントローラAP-200シリーズ、自動背圧コントローラなど、様々な製品を取り揃えております。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
