超高真空搬送システム『PML-100/PML-200』
搬送機構、基板収納部を備えた超高真空可搬搬送システム
本システムは、市販の乾電池で作動するモバイルイオンポンプを搭載した 超高真空可搬型搬送システムです。 情報通信研究機構（NICT）にて開発され、小型軽量な搬送機構及び基板収納部を標準装備。 本システムを装備することにより、遠方に試料を汚染することなく宅急便で 送ることも可能です。 【特長】 ■乾電池で動作するモバイルオンポンプを搭載 ■超高真空に試料を保ったまま送ることが可能 ■スーツケースに収納することにより宅急便での輸送が可能 ■試料搬送機能付 ■輸送機構のないシステムへの接続、試料交換が可能 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせください。
- 企業：PVR
- 価格：応相談
