搬送機構、基板収納部を備えた超高真空可搬搬送システム
本システムは、市販の乾電池で作動するモバイルイオンポンプを搭載した 超高真空可搬型搬送システムです。 情報通信研究機構（NICT）にて開発され、小型軽量な搬送機構及び基板収納部を標準装備。 本システムを装備することにより、遠方に試料を汚染することなく宅急便で 送ることも可能です。 【特長】 ■乾電池で動作するモバイルオンポンプを搭載 ■超高真空に試料を保ったまま送ることが可能 ■スーツケースに収納することにより宅急便での輸送が可能 ■試料搬送機能付 ■輸送機構のないシステムへの接続、試料交換が可能 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせください。
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基本情報
【主な仕様】 ■使用ポンプ：複合型小型モバイルイオンポンプ(PMI-070NEGSまたは PMI-114-NEGS) ■収納基板 ・PML-100:最大1インチ ・PML-200:最大2インチ ■輸送機構 ・マグネットカップリング型搬送機構 ・ストローク約300mm、直進、回転可能 ■収納室形状 ・PML-100:180×80×80 ・PML-200:250×130×150 ■バルブ ・PML-100:ミニフランジ排気ポート付70ICFゲートバルブ ・PML-200:70CFフランジ排気ポート付114CFゲートバルブ ■重量：約30kg（ゲートバルブ含む） ■圧力領域：10^-4Pa～10^-9Pa ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせください。
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企業情報
PVRは、PLD、スパッタ装置等、真空機器の設計、製造、改造などを中心に事業を展開している会社です。主な製品としてPLD装置「単元スパッタ装置」、「多元スパッタ装置」や「スパッタガン」などがございます。真空技術機器のことなら当社にお任せください。
