研磨装置 超高精度両面研磨装置 Extシリーズ
両面研磨装置の常識を打ち破る超極薄加工、高精度・高品質な平行度、平坦度を実現
従来の両面加工装置と違い上下定盤の駆動は独立駆動方式を採用し上定盤はジャイロ機構により常に水平で昇降します。 また、合成石英ガラスφ140x6tを研磨加工した平坦度データとなります。平坦度はPV値で50nmを実現しています。
- 企業：株式会社ティーエスシー
- 価格：応相談
超高精度両面研磨機 - 企業1社の製品一覧
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