軸ステージ(ボイスコイルモータ) - メーカー・企業と業務用製品 | イプロスものづくり

Z軸ステージ（半導体検査／0.035µm補正）高精度フォーカスに

光学測定・半導体検査向け。高剛性Z軸制御で高倍率観察時の焦点ズレを低減

V-Z03は、ボイスコイルモータによるダイレクトドライブ方式で、高速かつ高精度なZ軸制御を実現。 高剛性クロスローラーガイドとリニアエンコーダにより、最小0.035µmの微細動作が可能。 最大荷重150Nに対応し、セルフロック機能や空圧カウンターバランスを搭載。 半導体製造や精密測定など、要求の厳しい分野で優れた性能を発揮します。