軸ピエゾスキャナ - メーカー・企業と業務用製品 | イプロスものづくり

開口56 mmつきXY軸ピエゾスキャナ P-734

平坦度5 nm・分解0.3 nm、共振周波数500 Hzで高速＆高精度動作を実現

P-734はパラレルキネマティクス構造によるXY軸ナノポジショニングステージです。 高精度フレクシャーガイドと静電容量式センサにより、0.3 nmシステム分解能と0.03 %リニアリティを実現。 動作量は100 µm×100 µmで、耐荷重は20N。 56 mm×56 mmの大開口により、光学顕微鏡などにも最適。 半導体マスク位置決め、走査型顕微鏡、表面粗さ計測など“平面度×高速”が求められる装置に最適です。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。