透明導電膜加湿ユニット - メーカー・企業と製品の一覧

ヒューズテクノネット　透明導電膜加湿ユニット

H2Ｏを加温気化し、マスフローコントローラーで流量制御し、エッチング装置、アッシング装置、導電膜プロセスに安定供給します

加湿タンク内でＮ2ガスをバブリング、マスフローコントローラーで安定制御、温調器でプロセスラインベーキング制御、各炉へ安定供給します。

• 企業：株式会社ヒューズテクノネット
• 価格：応相談

• その他半導体製造装置