H2Ｏを加温気化し、マスフローコントローラーで流量制御し、エッチング装置、アッシング装置、導電膜プロセスに安定供給します
加湿タンク内でＮ2ガスをバブリング、マスフローコントローラーで安定制御、温調器でプロセスラインベーキング制御、各炉へ安定供給します。
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基本情報
【特徴】 ○タンク制御温度・・・・・・・・60～65℃（センサーPT100Ω） ○配管制御温度・・・・・・・・・70～75℃（センサーPT100Ω） ○タンク・配管温度異常・・・・110℃（センサーサーモスイッチ） ○Ｈ2Ｏタンク水位検知用に、H・Mレベルの2つの光学式液面センサーがあります ●その他機能や詳細については、お問い合わせください。
価格情報
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納期
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用途／実績例
【用途】 ○加湿ユニット ●その他機能や詳細については、お問い合わせください。
企業情報
現在のニーズは、ある部分においては供給側の私たちが掘り起こしていかなければなりません。 多業種で培った独自の技術を融合させ、 お客さまに対して積極的にプレゼンテーションしていく開発提案の時代であると、ヒューズ・テクノネットは考えています。 蓄積された技術が製品を生み、製品の開発が次の技術を導き、 その技術がさらに、次の先端製品につながる・・・・・。 ヒューズ・テクノネットは、蓄積した流体制御技術を基盤に新たなる「創造への挑戦」をビジョンに、まさに翔び立とうとしています。
