超精密レーザー測長システム用光学部品 バーミラー
主に露光装置のＸ・Ｙステージの測長に使用されております。
『バーミラー』は、主に露光装置のＸ・Ｙステージの測長に使用されております。 バーミラーの加工精度がＸ・Ｙステージの性能に大きな影響を与えます。 材料は高純度合成石英、クリアセラムＺ等低熱膨張ガラスを使用しております。 【特長】 ○材質：クリアセラム、合成石英 ○L寸法：１００ｍｍ～８００ｍｍ超 ○面精度：数μｍ～λ／１０ ※素材、形状等詳細仕様につきましては、お気軽にご相談ください。
- 企業：カドミ光学工業株式会社
- 価格：応相談
