長ストロークに対応！精密位置決め装置
長距離（150mm）を細かく位置決め可能！『精密位置決め装置（分解能：10nm）』光学分野での研究開発に最適。
光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージ。 長ストローク（150mm）を細かく（10nm単位※）位置決め可能。 ストロークが長いため、光学実験での光学遅延を作るのに適しています。 自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性を位置決め後の位置保持性を備えております。 ※フィードバックステージコントローラFC-511との組み合わせ ■詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログダウンロードしてください。
- 企業：シグマ光機株式会社
- 価格：応相談
