【研究向け】高精度・高剛性・長寿命の回転ステージ V-62x
開口付で高剛性と1µm未満の偏心と平坦度を持つ高速・高精度動作を実現
研究・実験分野では、精密な位置決めと回転制御が、実験の精度と再現性を左右する重要な要素です。従来の回転ステージでは、精度や速度が不足し、実験結果に影響を与える可能性がありました。ダイレクトドライブ高精度回転ステージ V-62xシリーズは、優れた回転精度と微小なティルトエラーを実現し、高度なアライメントや回転制御を可能にします。 【活用シーン】 ・光学系の調整 ・半導体製造装置 ・バイオメディカル分野での実験 【導入の効果】 ・実験精度の向上 ・再現性の高い実験結果 ・幅広い分野での活用
- 企業:ピーアイ・ジャパン株式会社
- 価格:応相談