真空雰囲気焼成の炉選定｜脱ガス・酸化抑制・高純度処理に対応
真空度・処理目的に応じて適した電気炉を選定
真空雰囲気焼成では、目的によって必要な到達圧力や炉構成が変わります。 脱ガス・乾燥であれば数Pa～数百Pa程度、酸化抑制であれば真空排気とN₂・Ar置換、高純度処理では10⁻³～10⁻⁴Pa級の高真空が必要になる場合があります。 そのため、単に「真空で焼成したい」という条件だけではなく、処理目的、温度帯、残留O₂、発生ガス量、炉内材質、ヒーター材質、排気系、安全対策まで含めて検討することが重要です。 本資料では、真空雰囲気焼成の目的別に必要な圧力目安、炉種選定、設備仕様に影響する確認ポイントを整理しています。 ■脱ガス・乾燥・酸化抑制の検討に ■高真空・高純度雰囲気での焼成検討に ■メタル炉・マルチ炉・カーボン炉・管状炉の使い分けに ■設備導入前の仕様整理・焼成テスト検討に
- Company：株式会社サーモニックENG
- Price：応相談
