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本装置で手軽に加圧・減圧を再現性良く効率の良い運転が可能！クラッチドアー方式で簡単開閉・安全設計！
【特徴】 ・手軽に加圧・減圧を再現性良く効率の良い運転が可能 ・クラッチドアー方式で簡単開閉・安全設計 ・最大加圧：0.9Mpa(第2種圧力容器) ・最大温度：1200℃ ・コンピューター通信制御＋PIDプログラムコントロール ・ガス3系統、MFC仕様を標準装備 ※冷却チラー/加圧コンプレッサー/PO2系/記録計はオプション設定
ESC・セラミックス部品の焼成条件出しに。N₂＋H₂還元雰囲気と露点制御で、焼成品質の再現性向上に貢献します。
静電チャック（ESC）やセラミックス部品の焼成・還元処理・脱バインダー処理に対応した、雰囲気制御型の高温焼成炉です。 N₂およびN₂＋H₂還元雰囲気での運転に対応し、常用1000℃、最高1650℃までの高温処理が可能です。 また、オプションによりWetガス導入・露点制御・Dry/Wet切替にも対応できるため、材料の焼き上がり、緻密化、絶縁性、表面状態、内部電極状態などの条件検討に活用できます。 同一チャンバー内で雰囲気を切り替えながら処理できるため、工程間の移動や外気曝露を抑制し、焼成条件の再現性向上、ばらつき低減、試作評価の効率化に貢献します。 ESC向けの焼成条件出し、N₂＋H₂還元処理、露点管理を伴うセラミックス焼成でお困りの場合は、お気軽にご相談ください。
