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超薄型、高剛性、高精度を実現
THKの電動アクチュエータ 精密ステージシリーズ CHX（小型アライメントステージ）は、超薄型でトップテーブルの小型化を実現、高剛性・高精度の特長を持ちます。光学機器、医療機器、バイオ事業、太陽電池、光学レンズの貼り合わせ装置、ブローブ検査装置、チップデバイス露光・印刷、散布装置、微細レーザ加工機、チップマウンター用アライメントなど、高精度の求められる様々な分野の装置に使用されています。 なお関連リンク先では、より、詳細な製品説明をはじめ、製品カタログ、仕様図・寸法表など、技術情報を多数準備しております。是非、こちらもご覧ください。
高精度な多点位置決めが可能、薄型で装置の省スペース化実現
THKの電動アクチュエータ エコノミーシリーズ ETは、多点位置決めが可能な電動の薄型軽量ターンテーブルです。一方向連続回転、回転速度制御、4方向取付けにより、装置の用途に合わせた動作が可能です。モータ出力を回転テーブルに高出力で伝えつつ、製品高さを抑えた構造となっています。高精度の割り出しが必要なインデックステーブルの回転部や、下軸への負荷を減らすことが求められる直行多軸ロボットのハンド部回転機構に採用されております。 なお関連リンク先では、より、詳細な製品説明をはじめ、製品カタログ、取扱説明書、２D・３DCAD、選定資料など、技術情報を多数準備しております。是非、こちらもご覧ください。
画期的なモジュール構造を採用した超薄形ステージ（特許取得済）
THKの電動アクチュエータ 精密ステージシリーズ CMX（アライメントステージ）は、トップテーブルサイズ1500m×1500mの大型ステージを標準化することで大型ワークに対応、サドルレスの軽薄機構により超薄型・軽量化も実現しました。 さらに中抜き構造であるため、光学式検査装置や導通テスタに採用されております。その他、FPD製造・検査装置、半導体製造装置・検査装置、スクリーン印刷機・マスク検査装置、プリント基板製造装置・検査装置、太陽電池製造装置・検査装置、電子デバイス製造装置・検査装置など、様々な分野の装置に使用されております。 なお関連リンク先では、より、詳細な製品説明をはじめ、製品カタログ、取扱説明書、仕様図・寸法表、２DCADなど、技術情報を多数準備しております。是非、こちらもご覧ください。
