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半導体ウェットプロセスの流量/背圧制御に好適！電動モーター搭載のオールフッ素樹脂製バルブ【CMPスラリーにも対応】
高精度ステッピングモーターを搭載したフッ素樹脂製電動コントロールバルブです。 DC24C(供給電源) + 4-20mA(アナログ信号)でバルブの開度を自在にコントロールして、流量制御/背圧制御が可能です。流路がスムーズである為、CMPスラリーなどの複雑な組成の流体にも好適です。 1l/min未満の小流量制御にも対応しています。標準で5タイプのイコールパーセント制御・リニア制御を選択いただけます。また特殊仕様でオーダーメイドの制御範囲も作成が可能です。
制御の精密さ、作動の確実性はもとより、 群を抜く応答性良さを兼ね備えた電子バルブです。
<特長> 1.精密制御 ポテンションメータを内蔵、バルブ開度をフィードバックすることで 再現性とヒステリシス特性に優れた精密制御を実現。 2.特殊比例ソレノイドアクチュエータによる高速応答 特殊比例ソレノイドを採用し、全開⇔全閉0.6秒以下の高速応答を実現。 (正作動型は0.8秒以下) 3.スプリングバック構造 スプリングバック構造で、 緊急時も全開または全閉位置にバルブが動作。 4.ドライブユニット ドライブユニットに4～20mAの信号を入力すれば、 所定の開度にバルブが動作します。 5.幅広いCv値選定範囲 インナー弁（ディスク ＆ シート）SUS316+ステライト盛で耐磨耗性に優れています。 Cv値0.0000015～5までの幅広いCv値に対応。 6.高圧ガス大臣認定品にも対応可能。
