半導体ウェットプロセスの流量/背圧制御に好適！電動モーター搭載のオールフッ素樹脂製バルブ【CMPスラリーにも対応】
高精度ステッピングモーターを搭載したフッ素樹脂製電動コントロールバルブです。 DC24C(供給電源) + 4-20mA(アナログ信号)でバルブの開度を自在にコントロールして、流量制御/背圧制御が可能です。流路がスムーズである為、CMPスラリーなどの複雑な組成の流体にも好適です。 1l/min未満の小流量制御にも対応しています。標準で5タイプのイコールパーセント制御・リニア制御を選択いただけます。また特殊仕様でオーダーメイドの制御範囲も作成が可能です。
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基本情報
サイズ：1/4～3/4 inch 接続：フレア、Pillar Super 300、PrimeLock ボディ材質：PFA、PTFE ダイアフラム材質：PTFE 供給電源：24V DC 入力信号：4-20mA、0-10V、0-20mA 作動スピード：max. 2 mm/s ストローク：4mm(開閉時間約2秒) アクチュエーター材質：PVDF 使用可能流体：腐食性・不活性の気体および液体 使用可能温度：10 ～ 150℃ 使用可能圧力：0～0.6MPa 周囲温度：0～60℃ ※1l/min未満や20l/min以上の流量に関してはお問い合わせください
価格情報
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納期
※約2～3か月程度
用途／実績例
【用途】 ●リソグラフィ ●Chemical Mechanical Polishing(CMP)の流量制御、排圧システム ●洗浄装置などの流量制御 ●エッチングプロセス ●分析 ●スラリー供給、薬液供給の背圧制御 ●充填アプリケーションでの充填量の制御 ●ポンプの脈動コントロール ●薬液混合の流量調整
詳細情報
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内部構造図
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制御事例
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企業情報
GEMÜ（GEMU）は最先端の製造工場における新技術開発力で価値を提供します。 私たちは世界中の製薬業界と強い繋がりを持ち、バルブ開発・改良に取り組んできました。その中で、無菌性が必須の「サニタリーダイアフラムバルブ」や、高い制御精度が求められる「半導体製造に特化したバルブ」等、多くの製品を取り揃えるに至りました。 全世界6か所の製造拠点を設け、世界50ヶ国以上でサービスを提供しています。 サニタリーバルブ市場においてリーディングカンパニーとして、多くのプラントで採用頂いています。 研究開発には積極的に取り組み、毎年売上の5％以上が開発投資に回されています。 おかげさまで、ドイツの経営経済研究所（IMWF）よりデジタル化を推進するテクノロジー企業として表彰されています。
