iComLine C53 高精度フッ素樹脂電動コントロールバルブ
半導体ウェットプロセスの流量/背圧制御に好適！電動モーター搭載のオールフッ素樹脂製バルブ【CMPスラリーにも対応】
高精度ステッピングモーターを搭載したフッ素樹脂製電動コントロールバルブです。 DC24C(供給電源) + 4-20mA(アナログ信号)でバルブの開度を自在にコントロールして、流量制御/背圧制御が可能です。流路がスムーズである為、CMPスラリーなどの複雑な組成の流体にも好適です。 1l/min未満の小流量制御にも対応しています。標準で5タイプのイコールパーセント制御・リニア制御を選択いただけます。また特殊仕様でオーダーメイドの制御範囲も作成が可能です。
- 企業：ゲミュージャパン株式会社
- 価格：応相談
