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光学薄膜や電極膜など各種薄膜形成に利用される電子ビーム蒸着用電子銃(偏向型)
日本電子株式会社 BS/JEBG/EBG series 電子銃は、光学薄膜や電極膜など各種薄膜形成に利用される電子ビーム蒸着用電子銃(偏向型)です。 〇特長 ・蒸発材料に電子ビームを直接照射し加熱するため熱効率が良く、高融点金属を始め、酸化物や化合物、昇華性物質など様々な材料を蒸発させる事ができます。 ・水冷銅るつぼ内(※)の蒸発材料を直接加熱するため、抵抗加熱式や誘導加熱式のようにボートやるつぼとの反応がありません。 ※ハースライナーを使用する場合もあります。 ・高速で出力制御できるため、精密な膜厚制御が可能です。 ※詳細はPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
様々なタイプの励起源をご用意しております
X線源、モノクロメータ、5kV電子銃、低速電子銃、12kV電子銃、紫外線ソースなどをラインナップ。 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
ロバストな高輝度・長寿命・低消費電力電子銃の開発資料！
当資料は、電子ビームを用いたウェハ直接描画に使用するマルチコラム・ マルチビームによる並列型電子ビーム露光技術の開発をめざし、コラムと 電子銃等の要素技術開発を進めている株式会社PARAMの開発資料です。 新規素材を用いたSchottkyエミッションによる低温度動作化、炭素材加熱 方式を用いた長寿命化をねらいとしています。 【開発内容】 ■ロバストな高輝度・長寿命・低消費電力電子銃 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせください。
オリジナルランプを製造も！既存光源の他にLED光源もご相談ください
岳石電気は常にお客様の「本当の狙い」「最終的な目的」を理解し、 ご要望に合わせた製造・開発を行ってきました。 オリジナルランプを製造したいお客様には、ハロゲンランプ等の 既存光源の他にLED光源についてもご相談ください。 ご用命の際は、お気軽にお問い合わせください。 【その他の溶接・アセンブリ品】 ■電子銃・ベース組立て品 ■センサ溶接品 ■X線コイルセラミックベース ■異種金属電極 ■フィラメントとステムのマウント ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
