ロバストな高輝度・長寿命・低消費電力電子銃の開発資料！
当資料は、電子ビームを用いたウェハ直接描画に使用するマルチコラム・ マルチビームによる並列型電子ビーム露光技術の開発をめざし、コラムと 電子銃等の要素技術開発を進めている株式会社PARAMの開発資料です。 新規素材を用いたSchottkyエミッションによる低温度動作化、炭素材加熱 方式を用いた長寿命化をねらいとしています。 【開発内容】 ■ロバストな高輝度・長寿命・低消費電力電子銃 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせください。
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基本情報
【試作実験】 ■多種材料を用いて試作評価 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせください。
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企業情報
株式会社PARAMは、超高速電子ビーム描画技術・要素技術の開発・製造・コンサルティングを行っている会社です。永久磁石を用いたマルチコラム技術・高輝度均一照射長寿命電子銃・プログラマブル形状可変ビーム（PSB)などのコア技術開発を通してデバイス開発製造をとおして社会の発展に貢献していきます。