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電離真空計×キヤノンアネルバ株式会社 - 企業1社の製品一覧

製品一覧

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電離真空計『M-723HG、M-823HG、M-923HG』

豊富な外部制御機能により完全な遠隔操作が可能!電源電圧は特注も対応いたします

『M-723HG、M-823HG、M-923HG』は、多様なゲージに対応する 豊富な拡張ボードを備えた一般的なB-A型電離真空計シリーズです。 真空装置のプロセスコントロールに必要な遠隔操作機能や APC(自動圧力制御)で有効なレンジホールド機能を標準装備。 「M-823HG」ではワイドレンジ B-A ゲージとサーモカップルゲージの コンビネーション及びゲージの自動切替を行うオートフィラメント機能の 搭載により大気圧から高真空領域までを1台で高精度にカバーします。 【特長】 ■圧力レンジは自動切換 ■圧力及び種々のメッセージが液晶表示 ■豊富な外部制御機能により完全な遠隔操作が可能 ■セットポイントを2点標準装備 ■記録計用出力として、D/A 出力を標準装備 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • 真空機器

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