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静電容量センサ(位置測定) - 企業1社の製品一覧

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高分解能 静電容量センサ

高分解能 静電容量センサ

標準品でレンジ10nm〜6000nm(6mm)まで対応!測定する材質を選びません!非導体でも測定できます。 ウェハーの厚み測定や精密な位置決め装置として使用されます。分解能0.2nmの高分解能で、超微細な測定に向いています!!

  • その他半導体製造装置
  • その他

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