キャリアー用非接触ロボットハンド
ウエハをキャリアーへ非接触にて挿入・取り出しをするロボットハンド
非接触にてウエハを搬送可能。ハンドが薄いためキャリアーへのウエハの出し入れが可能。クリーンルーム内で使用可能。アライメントが可能。
- 企業：有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
- 価格：応相談
非接触ロボットハンド - 企業1社の製品一覧
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非接触ロボットハンド
非接触ロボットハンド
気体を噴出することによりエゼクタ効果及びベルヌーイ効果による負圧発生と圧力式エアクッション効果による正圧発生により、ワークを空中に浮遊した無接触・非接触状態にて懸垂保持し、搬送、反転、傾斜する。ベルヌーイチャックともいう。排気回収機構により超クリーンルーム内での使用も可能。半導体ウエハ、ＬＣＤ・ＰＤＰガラス基板、プリント基板、セラミック基板、フィルム、紙、不織布、極薄ワーク、通気性ワーク等に対応
- 企業：有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
- 価格：応相談
